Jak odebrat Plazmové Etch Polymer

Kdyžchemik nebo elektrikář chce změnit chemické a fyzikální vlastnosti povrchu integrovaného obvodu oplatky , to je známé jako zpracování plazmy . Jednou z forem tohoto zpracování se nazývá plazmové leptání , který používá doutnavý výboj ( známý jako plazma ) z určitého plynu . Vypouštění je propuštěn jako pulsy v proudu vysokou rychlostí přímo na vzorku obvodu . Zdroj plazmy , známé jako leptání druhů , může mít jednu ze dvou charakteristik - nabitý , které jsou klasifikovány jako ionty nebo neutrální , které se skládají z atomů a radikálů . Na začátku zpracování etch , bude vypouštění je přenášen na obvodu vytvořit zbytek těkavých leptání v důsledku chemické reakce mezi leptaného materiálu a druhy s leptaným vytvořené plazmy. Fyzikální a chemické vlastnosti obvodu případně se změní i atomy od proudu plazmatu připojit nebo proniknout na povrch . V závislosti na plyn , který se používá k proudu plazmy , plazmové leptání polymeru může tvořit jako zbytku po process.Things budete potřebovat
Integrované obvody oplatky
Plasma etch polymeru remover ( PRX - 127 ) klipart Heavy - duty ochranné rukavice
chirurgické masky
ochranné brýle nebo brýle
stahovací nádrže
deionizované ( DI ) vody oplachování nádrže
spin vlasů nebo spin - oplachování vlasů
Zobrazit více pokyny dovolená 1

Plazmové leptání polymer bude pravděpodobně tvořit po použití plazmového zpracování etch s fluorovaných uhlovodíků na bázi plynů, například oxidu hydrotrifluoride a oktafluorpropanem . Tyto plyny vytvářejí nenasycených sloučenin v plazmě , které jsou pak převedeny do integrovaného obvodu destiček. Tyto musí být odstraněny, aby pro další zpracování plazmy pokračovat.
2. Dbejte zvýšené opatrnosti kolem nebezpečných chemikálií .

Plazmové leptání polymeru odstraňovač , známý jako PRX - 127 , jechemická sloučenina složená z prvků éteru , sulfoxidovou a hydroxid , a je extrémně nebezpečné dýchat , nebo dotyk. Doporučuje se, aby před použitím tohoto výrobku , je třeba nosit rukavice , brýle a masky . Ponoření proces mokré lavice je jedním ze způsobů, jak zvládnout bezpečnější tuto sloučeninu , a vyžaduje jen velmi málo fyzické interakce .
3

Naplňte dvě svlékání nádrže , které jsou určeny speciálně pro mokré lavice Způsob s roztokem PRX - 127 a Zahřeje se na teplotu 70 až 90 stupňů Celsia . Umístěte příslušného obvodu destičky opatrně do jedné z nádrží pomocí ochranné rukavice . Oplatky by měly zůstat v roztoku po dobu nejméně pěti minut, ale ne déle než 20 minut pro optimální účinek . Mechanické nebo sonic Metoda založená na míchání se nedoporučuje během prvního lázni .
4

Přeneste oplatky z první stripovací nádrže dodruhé , jakmilelázeň cyklus je kompletní , a znovu namočte destiček pro pět 20 minut bez dalšího míchání . Tato druhá lázeň se odstraní stávající vrstvy polymeru pod zbytku na povrchu plátku .
5 deionizovaná voda je naprosto čistá voda , bez dalších minerálů .

Odstraňte oplatky z roztoku PRX - 127 a přenést je na třetí nádrži naplněné SVC - 300 máchání , roztok , který se používá především pro odstraňování laku . Je to docela bezpečné použití , protože je netoxický a nehořlavý a nepoškozuje destiček. Oplatky by měly zůstat v tomto roztoku po dobu dvou až tří minut. Přeneste oplatky na konečné řešení - deionizované vody - uvnitř splachovací nádrže pro šest až osm cyklů a pak použít odstřeďování vlasů nebo spin - opláchnutí vlasů , aby se odstranily veškeré zbytky roztoku . Oplatky by měly být zcela bez polymerů , a jsou nyní v bezpečí , aby se znovu použít pro další plazmové vyrytý zpracování .