DIY RF Spojovací Plasma

Atomy se skládají z kladně nabité jádro obklopené mrakem záporně nabitých elektronů . Někdy atomy mohou získat nebo ztratit elektrony , což vede k jejich získání čistý kladný nebo záporný náboj . Atom s nábojem je známý jako iont . Plazma jeoblak iontů , a to může mít celou řadu využití ve zpracovatelském průmyslu polovodičové . Plazma může být produkován uvnitř vakuové Argon - naplněné komoře pomocí napájecí zdroj, který generuje rádiové frekvenci (RF ) radiation.Things budete potřebovat klipart RF vakuové komory s Argon hmotnostního průtoku regulátorem
Rotační čerpadlo
Turbo čerpadlo
RF napájení
odpovídající sítě RF
2 RF kabelů
Zobrazit další instrukce dovolená 1

Zapněte rotačním čerpadlem a čekat na tlaku na dostat na 10 ^ -3 mbar . Zapněte turbo čerpadlo , a čekat na to rozjet . Počkejte, dokud tlaku přibližně 10 ^ -6 millibar je dosaženo .
2

Připojte RF kabel mezi RF odpovídající jednotky a RF napájení . Připojte další kabel mezi RF odpovídající jednotky a vakuové komory zásuvky elektrody RF .
3

částečně uzavřítventil na turbo čerpadlo . Zapněte Argon regulátoru hmotnostního průtoku , a nastavte tlak 15 mbar . Zapněte RF napájení a odpovídající jednotky . Nastavit vpřed sílu 50 wattů . Odpovídající jednotka je slyšet jak se snaží minimalizovat odráží RF výkon . Když seodráží síla je menší než 1 procento z přední moci , zvýšení přední sílu asi 150 wattů . Plasma uvnitř komory by se měla rozsvítit , a musí být viditelné i kdyžkomora view- portu . Pomalu snížit dopředu moc zpět do 50 wattů . RF pár plazma je vytvořen .