Otevřete rozprašovací systém . Sejměte rozprašovací pistole kryt a odšroubujte kroužek, který drží svůj cíl naprašovacího na místě . Umístěte cíl oxidu kovový na rozprašovací pistoli a zašroubujte cílovou kroužek s přesným šroubovákem . Vyměňte elektrodu pistole štít . Umístěte plastový substrát do držáku substrátu . Zavřete rozprašování systému .
2
Čerpadlo rozprašování systém se na vhodném tlaku nastavení , jako 10 ^ -6 millibars . Ujistěte se, žeklapka je uzavřena , takžesubstrát není vystavena výpovědi až do potřebné . Zavést systém je argon plynu do komory , dokud není dosaženotlaku asi 5 milibarů .
3
Zapněte frekvence napájení rádia . Počkejte, dokud seviditelná plazma může být viděn v rozprašovací komory . Otevřete clonu . Plastový substrát je nyní vystaven depozice molekul oxidu kovu . Zavřete závěrku , pokud byly získánypožadované tloušťky .