Vliv leptání na kovových Microstructures

Proces nanášení tenkých kovových filmů jedůležitou součástí polovodičů a magnetických polí průmyslu . Dva hlavní typy zpracování zahrnují růst kovových filmů a leptání kovových fólií . Růst se týká ukládání kovového materiálu způsobem , jako je odpařování nebo naprašováním . Leptání je opačný proces a zahrnuje odstranění selektivní materiálu působením na určité chemické látky , nebo tím, že bombarduje materiálu s ionizovaných molekul plynu . Leptání

Leptání jeselektivní odstraňování materiálu . Existují dva hlavní způsoby, jak na etch materiál . Chemické leptání je často používán selektivně odstranit určitý materiál, přičemž další oblasti vzorku neporušený . Příkladem je použití kyseliny fluorovodíkové pro selektivní odstranění oxidu křemičitého . Druhý způsob, jak etch je umístit vzorek do vakuové komory, a pak zavést plyn , jako je argon . Argon je pak ionizuje sadou elektrod a zrychlené proti vzorku . Ionty bombardovat vzorku a odstranění materiálu . Protože všechny části vzorku jsou bombardováni , to neníselektivní leptání , a všechny povrchy vystavené bude mít materiál byl odstraněn .
Snížení Metal Tloušťka

Vystavení jakékoliv kovové vzorek na etch sníží tloušťku vzorku se při měření . To je častožádoucí výsledek etch . S cílem odstranit určité množství materiálu ,kovu musí být vystaveny na etch za stanovenou dobu , například , jedna minuta. Tloušťka pak je třeba měřit , aby si míru etch , jako je 10 nanometrů za sekundu .
Film drsnosti

Ačkolicíl se etch je snížit tloušťku kovu , to obvykle přichází v ceně . Kovové fólie drsnost může býtvelmi důležité množství a je obvykle měřena pomocí zařízení zvanéhomikroskopu atomárních sil . Obecně platí , že čím délemateriál leptané ,většídrsnost kovový film stává .
Zrnitost

kovové fólie se skládají z mnoha milionů malých zrn , které jsou obvykle v velikost rozmezí 5 až 100 nanometrů . Jako kovové fólie jsou leptané ,průměrná velikost zrnitosti může být snížena , ale to je velmi závislý na typu etch , času etch a etch sílu, pokud jeion leptání .