Jak vypočítat nesprávného vyrovnání v anizotropním leptání

Identifikační nesoulad - nebo nesoulad buněk - v anizotropním leptáním vyžaduje metodu výpočtu s názvem " Korekce času . " Toto může být viděno , když se řeší algoritmus používaný při simulaci leptací proces křemíku EDP ​​, KOH nebo TMAH řešení . Je-li použita metoda Buněčné automaty ( CA) pro simulaci leptání ,substrát je reprezentován jednotlivých buněk, které jsou obsaženy uvnitř krystalické příhradová konstrukce . Pokyny dovolená 1

Napiš rovnici pro určení počtu etch kroků . Toto je vyjádřeno jako N ( t ) = [ M /E ( s ) T ] t . Výchozí hodnota 1 se používá pro T.hodnota M jenásobkem E ( s ) T. Hodnota E ( y) je [ 0,1 ] .
2

Napiš rovnici pro určení ekvivalentu etch povrchového materiálu . To je vyjádřeno jako : .

E ( y) = M /N ( t ) T = M /( M /E ( y ) T ) T = E ( y)

M nenínásobkem E ( s ) T , paknesoulad dojde , protoželeptání další buňky nespustí ihned .
3

Poznamenejte si pro " k ", který se používá k identifikaci krok etch . Další leptání krokem v tomto procesu je označen jako k + 1. . Poznámka časový rovnováhu na krok leptání jako Tb ( k) .
4

Napiš rovnici použitou k výpočtu náhrady času . Tato rovnice je vyjádřena jako : Autor

M ( k)> E ( s ) ( T + Tb ( k - 1 )

pak

T ( k ) = T + Tb ( k - 1 )

M ( k +1 ) = M ( k) - E ( y) T ( k)

Tb ( k ) = 0

jiného

T ( k ) = M ( k ) /E ( y)

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k)

Konečným výsledkem této metody výsledků kompenzačních čas v rovnici , která je vyjádřena jako :

E ( y ) = M ( k ) /T ( k ) = E ( y) pro etch kroku k