umístěte podklad do spin - coateru sklíčidla . Pomocí pipety , umístěte dostatek SU8 2002 odolávat na podkladu zcela pokrýt . Programování spin - potahovače točit při 500 otáčkách za minutu po dobu 10 sekund a pak 2000 rpm po dobu 30 sekund . Mezi výrobce typový list uvádí, že by to mělo vést kodolat tloušťku 2,4 mikronu .
2
Vyjměte vzorek z spin - lakovací a položte ji na horkou plotnu na 95 stupňů Celsia nebo 203 stupňů Fahrenheit . Nechte vzorek na varné desce po dobu dvou minut . Odebrat vzorek a nechte vychladnout po dobu pěti minut .
3
Vložte fotografický masku do masky zarovnávači . Vzorek se umístí pod maskou . Vystavit vzorek . Vyjměte vzorek z masky seřizovací a vložte ji do kádinky vývojáře po dobu jedné minuty . Po vývoji , opláchněte vzorek v isopropylalkoholu . Vzorek se nyní skládá ze série vzorované jam , které mědi mohou být uloženy do dokončení PCB .
4
umístěte kuličku z mědi do odpařovací komory kelímku . Čerpadlo se odpařovací komory do tlaku asi 10 ^ -6 mbar nebo 10 ^ -4 Pascaly . Uložit požadovanou tloušťku mědi . Vyjměte vzorek z výparníku . Vzorek do kádinky acetonu . Tím se odstranízbývající SU8 odolat , a ponechává měděné stopy . Opláchněte vzorku v kádince IPA . PCB je kompletní